FIB/扫描电镜实验室服务和费率

DB-FIB/扫描电镜实验室按照bet365亚洲官网服务中心费率委员会批准的以下小时费率运作.

* EDS或EBSD费率是对列出的扫描电镜或FIB +扫描电镜每小时用户费率的补充.

请参阅 申请文书表格(PDF) 之前 请致电208-885-1063或 fibsem@kaidandizo.com 查看可用的操作日期和时间.

范新办^TM

FEI/Thermo Scientific SciosTM是最通用的高分辨率扫描电镜/FIB，用于2D和3D材料表征和分析，使用EasyLift EX纳米机械手进行原位样品处理和TEM片层转移. 该仪器结合了创新的电子和离子光学与国家的最先进的图案控制. 这种组合通过提供更好和更快的材料表征方法来扩展表征和分析能力, 分析和样品制备.

我们的Scios配备了金(Au)和铂(Pt)源进行沉积.

观看15分钟的FEI Scios Discovery介绍视频

电子光学(扫描电镜)

电子光学系统的主要组成部分有:

Source

• 带肖特基发射源的场发射枪组件.
• 该组件针对高亮度/高电流进行了优化，提供低噪声成像.
• FEG的预校准确保不需要机械校准.
• 容易枪的安装和维护提供了自动烘烤和自动启动功能.

物镜

• 双物镜结合无场磁场和静电透镜，具有60度几何

电压:

• 200ev至30kev
• 20 eV着陆能量，可选择束流减速

电子束电流:

• 1pa ~≥200na

分辨率:(在最佳工作距离下)

• 0.8nm, 30kv (STEM)
• 1.15千伏时0毫微米(三位一体)
• 1.6 nm在1千伏(三位一体)在中心工作距离
• 2.1kv时5nm(三位一体)

离子光学(FIB)

• 液体镓离子发射器场发射聚焦离子束光学.
• Source lifetime: >1000 hours
• 电压:500v ~ 30kv
• 光束电流:1.5 pA - 65 nA, 15步
• 解析:5.0 nm @最佳工作距离

扫描系统

• 高分辨率数字扫描引擎由用户界面控制.
• 像素密度768 × 512、1536 × 1024、3072 × 2048、6144 × 4096，可选
• Minimum dwell time 25 ns/pixel; maximum 25 ms/pixel
• 电子扫描旋转n × 360度

图案(铣削)系统

• 高分辨率数字图形引擎由用户界面控制
• 最大分辨率:64k x 64k
• 最小停留时间:25ns /像素
• 最大停留时间:25毫秒/像素
• 多种标准图案形状和配方，包括环形铣削
• 可变的停留时间模式，以提供三维铣削
• 通过位图导入复杂的铣削图案, 动态阈值铣削, 数组的一代, 禁区和多边形建筑

检测

• 二次电子探测器(Everhardt-Thornley SED)
• 三位一体检测系统包括:
• 一个分段的，低透镜内检测器(T1)，
• 上镜内检测器(T2)
• 一个可选的列内检测器(T3)
• 集成IR-CCD相机是室内观察的标准配置

热QuasOr^TM EBSD探测器

我们的电子背散射探测系统是由一个600fps的热准电子背散射探测器和集成的电动滑片组成的. 系统包括基本的和高级的EBSD采集软件, 欧拉, 相位映射, 并发光谱成像, 粒度分析, CSL和特殊边界映射.

探测器连接到Noran System 7光谱采集和成像系统.

热UltraDry^TM EDS探测器

UltraDry Premium EDS检测器具有NORVAR®光元素窗口, 30平方毫米传感器, 129eV分辨率(Mn)，保证灵敏度低至铍.

我们的EDS探测器连接到Noran System 7光谱采集和成像系统.

诺兰系统7光谱采集和成像系统

诺兰7包括数字采集电子设备, 光谱成像软件, 无标准或全标准定量分析, ZAF, Proza, 和克里夫·洛里默矩阵修正, 数字电子图像和x射线图采集, 定量制图和动态智能显示, 点和拍摄图像审讯, 超过16种自动处理功能(具有手动覆盖偏好), 和Microsoft Word®用于生成报告.

诺兰7号也有直接到阶段的萃取软件, 显示, 以及光谱图像和x射线图的主成分分析(PCA)，以确定和识别主要相和化合物. 它还包括 指南针(PDF), XPhase (PDF), 匹配(PDF) 选项.